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不一样的排污场合和不一样的废气，有不一样的生产流程。但不论采取哪种工艺流程，都由如下工艺单元组成。
废气预处理
以便防止金属催化剂床层的阻塞和催化剂中毒，废气在进到床层以前务必开展预备处理，以去除废气中的烟尘、液体及金属催化剂的有害物质。在开展催化燃烧的工艺技术时，应依据详细情况，针对解决气量很大的场合，设计方案成份建式步骤，即暖风器、管式反应器单独安置，期间用管路联接。针对解决气量小的场合，可选用催化反应垃圾焚烧炉把加热与反映组成在一起，但要留意加热段与反映段间的间距。
在有机物废气的催化燃烧中，所要解决的有机物废气在高溫下与气体混和易造成发生爆炸，安全隐患十分重要。因此，一方面务必操纵有机物与气体的混和比，使之在爆炸下限；另一方面，催化燃烧系统应设监测报警装置和有防爆措施。
